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Aligner 晶圆预对准装置
Aligner 晶圆预对准装置是必威(bw·西汉姆联)公司自主研发的一种晶圆校准装置，，，用于晶圆进入关键工艺腔体前的晶圆几何中心校对和取向校对，，，精准鉴别晶圆的位移和角度误差，，，为后续工艺提供了靠得住的基准，，，宽泛利用于半导体制作的各个阶段
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Aligner 晶圆预对准装置
产品优势
全自研解决规划
主题部件均自主研发
兼容性
可兼容多材质晶圆
适配性
可适配多尺寸晶圆
精准鉴别
精准鉴别晶圆的位移与角度误差
产品参数
晶圆纠偏精度
±0.1mm
晶圆转角精度
±0.2°
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